真空泵是用来抽取空气、液体或其他气体、以产生负压环境的装置。它的工作原理是将物质进行抽取，在形成负压或真空状态后，再进行回收。真空深度与抽取成功主要看抽取时所选用的真空泵所属的类型，以及系统内部的结构设计等问题。
常用的真空泵分为两大类，一种就是利用机械原理的真空泵，如离心泵、旋转泵、游隙泵、涡轮泵，另一类是利用静电溅射原理的 chemically（化学）能真空泵，如压缩泵、离子泵等。
其中，离心泵是由一只叶轮转动于排气头的一室内压式泵，叶轮在转动时会将进气口的气体打入室内，形成一定的压力，再经叶轮压缩抽动出室外，从而形成一定的真空状态。
压缩泵，也称为分子泵，是通过机械装置将几海尔尺（Pa）气体压力下的工质发生多次立体运动，使工质表面的摩擦力改变，从而把工质吸入室内，形成真空环境的泵。
离子泵，又称质子泵，是以运行的电离断面传输质子而形成真空的泵，它可以将质子离子缓缓的向泵头发射，当这些离子接近加速介质时，由于介质的电子散离效应及气体的克里斯考引力，使工质的量子跃迁改变，从而形成质子电离后不断向真空泵而密度减少，产生真空空间。
通过以上介绍，我们了解到不同的真空泵的工作原理是不同的，而且每种真空泵所产生的真空深度也有所区别，所以用户在选择时应根据自身情况，选择合适的真空泵。
