真空泵是一种应用于制备高纯真空系统的设备，可以将一定范围的空气压力降至较低的压强状态。它可以用来抽吸残余气体、减轻偶氮压力、制备硅烷和稀疏空气等。真空泵的工作原理很简单：高压的空气经过降压值的传动装置被抽出，排出至汽缸外；低压的空气因快速转动的活塞而进入汽缸内，气体被压缩至所需的压强，然后再排出。
真空泵由驱动系统、气路系统和腔室组成，加之真空泵润滑油等部件，它可以将在活塞室内收集、凝结、压缩和排出的气体逐次排出。常见的真空泵的工作原理包括活塞真空泵、旋涡叶片真空泵和曲轴泵等，它们都有一个共同点，那就是将高压空气减至所需的低压状态。此外，活塞式真空泵和旋涡叶片真空泵还可以将特定化学物质以液体或者蒸汽的形式排出，曲轴泵则可以将特定化合物排出，可以被用于实验室和工业等。可以说，真空泵的工作原理是非常有用的，它们对制备高纯真空系统有重要作用。
